Що таке фотолітографія?
Фотолітографія є одним із важливих процесів у виробництві інтегральних схем (ІС або мікросхем). Простіше кажучи, це процес копіювання малюнка схеми на підкладку за допомогою фотошаблону та фоторезиста.
Підкладка буде пофарбована на ізоляційний шар діоксиду кремнію та фоторезист. Фоторезист можна легко розчинити за допомогою проявника після впливу ультрафіолетового світла, після розчинення та травлення малюнок схеми залишиться на підкладці.
Що таке фоторезист? Чому довжина хвилі УФ 500 нм повинна блокувати?
Фоторезист поєднується зі смолами, розчинниками та добавками. Світлочутливий діапазон фоторезисту становить 200 нм-500нм. Тому багато напівпровідникових лабораторій використовують жовте світло, яке блокує ультрафіолетове випромінювання з довжиною хвилі 500 нм, щоб запобігти надмірному або передчасному експонуванню фоторезисту.
